型號 Hydra-Sensor

HYDRA-Sensors

超高純壓力傳感器

應用

·         半導體工業

·         UHP液體化學品輸配系統

功能特性

·         獲得專利的雙膜片設計

·         接液部件材質為氟烷氧基 (PFA)

·         即使在安裝后也可實現360°旋轉

·         防護等級高達IP 65或IP 67

·         可選：附著式指示器，參見數據手冊PE 82.11

描述

HYDRA-line
系列產品 HYDRA-line系列壓力測量儀表是我們和知名半導體企業（威卡客戶）聯合開發而成。所有該系列產品都滿足過程設備和UHP化學品輸配系統的特殊應用要求。

HYDRA-Sensor壓力傳感器具有高精度、高可靠性、超潔凈的接液部件和表面。此外，所有接液部件的生產、清潔組件的裝配、校驗和包裝均是在100級無塵室中完成的。

雙重安全
獲得專利的HYDRA雙膜片系統可以安全可靠地將壓力傳感器與工作介質隔離開。此外，該型號產品還會將HF或HCI蒸汽等擴散介質排到外部環境中，從而可防止造成錯誤的測量結果或破壞傳感器元件。

我們不保證市場上銷售的產品能夠在所有應用中完全隔離化學品。在有些應用中，可能會出現化學品透過膜片擴散的情況。